直線納米位移臺位置回讀值抖動，通常是傳感器噪聲、控制環(huán)調(diào)節(jié)、機械微振動或環(huán)境干擾疊加造成的，不同品牌和型號的位移臺，傳感器類型（光柵、電容、干涉儀）、閉環(huán)控制參數(shù)和機械剛度差異，會讓抖動幅度和表現(xiàn)差別很大。
常見原因和對應(yīng)處理方法：
傳感器噪聲：高分辨率電容或光柵在本底就有噪聲，尤其微米或納米級運動更明顯?？赏ㄟ^軟件低通濾波或采樣平均減小顯示抖動。
閉環(huán)控制參數(shù)過激：PID 或其他閉環(huán)增益過高，控制器在“追噪聲”，導(dǎo)致位置頻繁微調(diào)。可適當調(diào)低增益或調(diào)整濾波器參數(shù)。
機械微振動：地面震動、風(fēng)流、泵振動、臺體柔性不足都會反映在回讀信號上。建議隔振或加固平臺。
環(huán)境干擾：電磁干擾、接地不良會直接影響編碼器或控制器信號，檢查屏蔽和接地。
熱漂移或應(yīng)力釋放：溫度變化或材料應(yīng)力松弛，會疊加高頻抖動，尤其在長行程或高精度測量時更明顯。
采樣和顯示設(shè)置：采樣頻率過高或無濾波，會把噪聲完整顯示出來。可降低顯示刷新頻率或增加平均幀數(shù)。