納米位移臺(tái)位置回讀值抖動(dòng)很大，通常不是單一原因，而是傳感器、控制、機(jī)械和環(huán)境噪聲疊加的結(jié)果，常見情況有這些：
位置傳感器噪聲：電容、光柵或干涉儀本身存在本底噪聲，分辨率越高，抖動(dòng)看起來越明顯。
電磁與接地干擾：驅(qū)動(dòng)器、電機(jī)、電源或附近設(shè)備耦合進(jìn)傳感器信號(hào)，回讀值會(huì)高頻跳動(dòng)。
控制參數(shù)過激：閉環(huán)增益過高，控制器在“追噪聲”，導(dǎo)致位置不斷來回修正。
機(jī)械微振動(dòng)：地面振動(dòng)、風(fēng)流、泵振動(dòng)或臺(tái)體剛度不足，都會(huì)直接反映到回讀信號(hào)上。
熱漂移與應(yīng)力釋放：溫度緩慢變化或內(nèi)部應(yīng)力松弛，會(huì)疊加在高頻抖動(dòng)之上。
采樣與濾波設(shè)置不當(dāng)：采樣頻率過高、濾波過弱，會(huì)把無意義的高頻噪聲完整顯示出來。