納米位移臺按固定步長走，但和刻度對不上，通常不是“步長設(shè)錯”，而是實際位移和指令位移之間存在系統(tǒng)性偏差，常見原因有這些。
常見的是開環(huán)誤差或標(biāo)定不準(zhǔn)?？刂破靼l(fā)出的步長只是理論值，如果位移臺沒有閉環(huán)反饋，絲桿傳動誤差、壓電遲滯、驅(qū)動增益偏差都會讓實際位移逐步偏離刻度。走得越多，累計誤差越明顯。
其次是機(jī)械回差和摩擦影響。如果每一步都是單向還好，一旦涉及正反向，回差會直接吃掉一部分步長。在微小步長下，靜摩擦也會讓某些步指令“沒走出來”，導(dǎo)致刻度看起來對不上。
驅(qū)動和控制分辨率也是常見原因。設(shè)定的步長已經(jīng)接近或小于驅(qū)動器最小輸出分辨率，控制信號被量化，實際位移呈不規(guī)則跳變，刻度自然無法一一對應(yīng)。
如果是壓電位移臺，遲滯和蠕變影響很大。相同步長的電壓變化，在不同位置、不同方向下對應(yīng)的位移并不一致，尤其在開環(huán)或未做遲滯補(bǔ)償時，刻度對不上是典型現(xiàn)象。
還有一個容易被忽略的問題是刻度本身。無論是光學(xué)標(biāo)尺、軟件顯示刻度，還是外部測量參考，如果沒有和位移臺當(dāng)前狀態(tài)重新標(biāo)定，也可能是“刻度準(zhǔn)，臺不準(zhǔn)”，或者“臺準(zhǔn)，刻度不準(zhǔn)”。