直線納米位移臺(tái)位置回讀值抖動(dòng)，通常是傳感器噪聲、控制環(huán)調(diào)節(jié)、機(jī)械微振動(dòng)或環(huán)境干擾疊加造成的，不同品牌和型號(hào)的位移臺(tái)，傳感器類型（光柵、電容、干涉儀）、閉環(huán)控制參數(shù)和機(jī)械剛度差異，會(huì)讓抖動(dòng)幅度和表現(xiàn)差別很大。
常見(jiàn)原因和對(duì)應(yīng)處理方法：
傳感器噪聲：高分辨率電容或光柵在本底就有噪聲，尤其微米或納米級(jí)運(yùn)動(dòng)更明顯?？赏ㄟ^(guò)軟件低通濾波或采樣平均減小顯示抖動(dòng)。
閉環(huán)控制參數(shù)過(guò)激：PID 或其他閉環(huán)增益過(guò)高，控制器在“追噪聲”，導(dǎo)致位置頻繁微調(diào)。可適當(dāng)調(diào)低增益或調(diào)整濾波器參數(shù)。
機(jī)械微振動(dòng)：地面震動(dòng)、風(fēng)流、泵振動(dòng)、臺(tái)體柔性不足都會(huì)反映在回讀信號(hào)上。建議隔振或加固平臺(tái)。
環(huán)境干擾：電磁干擾、接地不良會(huì)直接影響編碼器或控制器信號(hào)，檢查屏蔽和接地。
熱漂移或應(yīng)力釋放：溫度變化或材料應(yīng)力松弛，會(huì)疊加高頻抖動(dòng)，尤其在長(zhǎng)行程或高精度測(cè)量時(shí)更明顯。
采樣和顯示設(shè)置：采樣頻率過(guò)高或無(wú)濾波，會(huì)把噪聲完整顯示出來(lái)。可降低顯示刷新頻率或增加平均幀數(shù)。