納米位移臺在掃描時(shí)出現(xiàn)邊緣變形，通常不是圖像算法的問題，而是運(yùn)動(dòng)與控制特性在掃描端點(diǎn)被放大導(dǎo)致的，常見原因有這些：
方向切換與加減速影響：掃描到邊緣時(shí)位移臺需要減速、停頓或反向，加速度突變會引入慣性誤差，邊緣位置最容易拉伸或壓縮。
閉環(huán)控制延遲：傳感器反饋和控制器響應(yīng)存在時(shí)間滯后，掃描中心段還能跟上，到了邊緣指令變化快，就表現(xiàn)為位置跟蹤誤差。
掃描軌跡非線性：壓電或柔性結(jié)構(gòu)在行程兩端非線性更明顯，導(dǎo)致邊緣位移與指令不再成比例。
共振或機(jī)械柔性：掃描頻率接近系統(tǒng)固有頻率時(shí)，端點(diǎn)會出現(xiàn)振鈴，圖像邊緣就會發(fā)生彎曲或重影。
采樣與觸發(fā)不同步：位置還沒穩(wěn)定就開始采樣信號，尤其在邊緣區(qū)域，會把動(dòng)態(tài)誤差“拍進(jìn)”圖像里。